格隆汇1月30日丨盛美上海(688082.SH)发表投资者联系活动记载表显现，公司现阶段已有整理洗刷设备、镀铜设备、炉管设备、PECVD、Track等产品，公司期望进行组合性、连贯性的测验。首要对硅片进行整理洗刷，再经过炉管及PECVD完结镀膜，然后经过Track与光刻机的对接，完结涂胶、曝光、显影，然后进入实验线的刻蚀设备做干法刻蚀，再进行去胶清洗。公司还装备SP7颗粒检测器及其他量测设备对各个工艺过程进行细心的检测验证。该项目意图是能够在一条线上串联公司的五大产品，进行模仿生产线inline的测验，加速公司对各类设备的开发验证，缩短在客户端的测验验证时刻。